清华工物系在新型加速器光源 “稳态微聚束”研究中取得重大进展
https://www.tsinghua.edu.cn/info/2423/5462.htm

大陸清華跟兩個德國單位的合作研究
在EUV取得進展
不知道這研究項目佔光刻機幾%
不知道要花幾年才能從實驗室中走出來商用
到時也不知道ASML又走多遠了