引用:
作者healthfirst.
上海微電子的193nm ArF浸入式曝光機
俗稱28nm光刻機
從2020年底量產
延到2021年底量產
現在2022年中了
在哪裡?
看不到
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2021年底的消息是液浸潤光學系統和光源沒有通過政府設定的目標, 所以不能交機
前幾天的消息是液浸潤光學系統原型機和1號機交付, 但是很快的相關訊息被從阿共國內網裡面被清理了
預期應該目前是光源沒有搞定....
至於進展, 鑑於上海微電子年初交付其他曝光機的同一天就被列入未核實清單
應該未來不太可能會放在檯面上
但是可以確定的是19年川普一系列的制裁操作反而把阿共國幾家要倒掉的廠商都救回來了
以我碰到的case來說, 京薇雅閣現在改名京薇齊力, 產品似乎有滿大的改善