PCDVD數位科技討論區 - 瀏覽單個文章 - ASML總裁炮轟：中國自主研發光刻機是在破壞全球晶片産業鏈

引用:

作者tseyik

工信部是説可做到小於8nm
工信部重装函〔2024〕254号

工业和信息化部

2024年9月2日
https://www.imaschina.com/article/62750.html

工信部的資料是套刻≤8nm
那個轉載的媒體不懂什麼套刻
看到8nm就以為這台能生產8nm晶片

ArF曝光機是不可能做到8nm的
起碼要ArFi多重曝光才行
7nm的高通S855是ArFi多重曝光的代表作之一

套刻精度控制
https://zh.wikipedia.org/zh-tw/套刻精度控制

套刻误差
https://baike.baidu.com/item/套刻誤差/22197871